薄膜厚度的测量装置

授权

摘要

本实用新型提供一种薄膜厚度的测量装置，其包括：样品承载台，参考样品及待测样品能够放置在所述样品承载台上；第一测量组件，能够实现第一测量方法；第二测量组件，能够实现第二测量方法；比较模块，用于将所述第一测量组件的测量结果与第二测量组件的测量结果进行比较，以得到校准参数；校准模块，利用所述校准参数对所述第一测量组件的测量结果进行校准。本实用新型薄膜厚度的测量装置能够对超薄单层薄膜的厚度及多层薄膜层交叠设置的结构的薄膜层的厚度进行准确测量，提高测量精度。

基本信息

专利标题：

薄膜厚度的测量装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920991578.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-26

授权号：

CN209991941U

授权日：

2020-01-24

发明人：

李政

申请人：

长鑫存储技术有限公司

申请人地址：

安徽省合肥市蜀山区经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

孙佳胤

优先权：

CN201920991578.6

主分类号：

G01B11/06

IPC分类号：

G01B11/06 G01B15/02