一种薄膜厚度测量装置
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摘要

本发明公开了一种薄膜厚度测量装置,该薄膜厚度测量装置包括用于放置薄膜的试验台,试验台上滑动连接有两件沿左右方向水平运动的第一滑座,第一滑座上连接有框体,框体上滑动连接有能够升降的升降滑座,升降滑座与框体之间连接有复位装置,升降滑座上转动连接有侧磁条卷轴,侧磁条卷轴上缠绕有侧磁条,两件第一滑座之间连接有沿前后方向水平设置的气管,气管下侧开设有气孔,还包括两件端磁条,端磁条及侧磁条能够通过磁力贴合在试验台上,试验台上还滑动连接有两件沿左右方向水平运动的第二滑座,两件第二滑座之间滑动连接有沿前后方向水平运动的第三滑座,第三滑座上安装有厚度测量机构。减少薄膜与实验台之间的气泡,提高测量精度。

基本信息
专利标题 :
一种薄膜厚度测量装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114440778A
申请号 :
CN202210365055.7
公开(公告)日 :
2022-05-06
申请日 :
2022-04-08
授权号 :
CN114440778B
授权日 :
2022-06-03
发明人 :
张晓龙杜永胜刘国标董建法宋健
申请人 :
山东永健机械有限公司
申请人地址 :
山东省潍坊市昌邑市柳疃沿海经济发展区
代理机构 :
青岛致嘉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王俊卿
优先权 :
CN202210365055.7
主分类号 :
G01B11/06
IPC分类号 :
G01B11/06  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
2022-06-03 :
授权
2022-05-24 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/06
申请日 : 20220408
2022-05-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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