本实用新型公开了一种薄膜厚度测量设备，包括顶块设置于所述工作台的内端，且顶块的底端固定连接有顶杆，所述底座的内端开设有内腔，且内腔的内端设置有活动块，并且活动块的顶端连接有第一弹簧，所述检测头的末端连接有连接杆，且连接杆的内端设置有卡块，所述卡块的末端连接有第二弹簧，且第二弹簧的末端与连接杆内端相连接，所述卡块的外端安装有固定轴，侧板固定安装于所述工作台的侧端，且侧板的外端设置有延展板。该薄膜厚度测量设备，设置有连接杆和活动块，当检测头检测完成后将带动连接杆上移，卡块将与活动块卡合对其进行顶升，活动块底端将带动顶杆和顶块同步上移，对工作台上吸附的薄膜进行顶升，使其脱离工作台便于拿取。