一种薄膜的厚度测量系统

授权

摘要

本申请实施例提供一种薄膜的厚度测量系统，包括：探测光纤、第一光纤探头、第二光纤探头、光电转换器、解调放大器、光源、调制脉冲发生器、相敏检波器、选通放大器、整流滤波器、积分型抗干扰器、数模转换电路、单片机以及显示模块。其中，探测光纤包括发射光纤、接收光纤和探头光纤，相敏检波器具有两个输入端，相敏检波器的其中一个输入端依次连接所述调制脉冲发生器和所述光源，相敏检波器的另一个输入端依次连接解调放大器和光电转换器。相敏检波器的输出端依次连接所述选通放大器、整流滤波器、积分型抗干扰器、数模转换电路、单片机以及显示模块。上述系统使用光学测量的方法测量薄膜的厚度，不会对物体造成损伤，测量结果准确。

基本信息

专利标题：

一种薄膜的厚度测量系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022149637.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-25

授权号：

CN212254012U

授权日：

2020-12-29

发明人：

杨文虎张海康黄存友杨忠学崔丽付东洋

申请人：

广东海洋大学;广东海洋大学深圳研究院;深圳和光新材料科技有限公司

申请人地址：

广东省湛江市麻章区海大路1号

代理机构：

上海君立衡知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

陈兆旺

优先权：

CN202022149637.0

主分类号：

G01B11/06

IPC分类号：

G01B11/06