一种石墨烯薄膜厚度测量装置
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摘要

本实用新型提供了一种石墨烯薄膜厚度测量装置,包括有带有横梁和工作台的支架和激光位移传感器;横梁位于工作台的正上方;横梁上设置有滑块;激光位移传感器通过悬臂与滑块连接,悬于工作台的正上方;滑块能够沿横梁水平移动并带动激光位移传感器同步运动。该方案采用在支架上设置能够移动的激光位移传感器,使用激光位移传感器测量未生产时和生产时同一位置的位移数值,经换算和求平均值后得到石墨烯膜的厚度,能够解决石墨烯薄膜厚度测量难以实现的技术问题。

基本信息
专利标题 :
一种石墨烯薄膜厚度测量装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122746441.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-11
授权号 :
CN216206062U
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
夏中均刘学涌郑代芳彭勇邱兴旭
申请人 :
四川烯都科技有限公司
申请人地址 :
四川省绵阳市江油市高新技术产业园区东区长庚路21号广电产业园二期
代理机构 :
绵阳山之南专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
沈强
优先权 :
CN202122746441.4
主分类号 :
G01B11/06
IPC分类号 :
G01B11/06  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
2022-04-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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