薄膜厚度的测量方法和设备

专利权的终止

摘要

运动的卷筒材料或片的非接触式厚度或纸的厚度测量技术采用包括第1传感器头和第2传感器头的传感器装置，两传感器头互相分离以便限定运动的卷筒材料通过的路径。传感器装置将激光产生的多点图案投射到运动卷筒材料的上表面上。图案的图案识别算法分析确定运动卷筒材料的取向、如倾斜度。该装置还测定薄膜的倾斜度、在第1传感器头和第1卷筒材料表面之间的距离、在第2传感器头和第2卷筒材料表面之间的距离和两个传感器头之间的距离以便提供高精度的运动卷筒材料在线厚度测量。

基本信息

专利标题：

薄膜厚度的测量方法和设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101120230A

申请号：

CN200580048299.7

公开（公告）日：

2008-02-06

申请日：

2005-12-19

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

T·W·贾辛斯基F·M·哈兰

申请人：

霍尼韦尔国际公司

申请人地址：

美国新泽西州

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

崔幼平

优先权：

CN200580048299.7

主分类号：

G01B11/06

IPC分类号：

G01B11/06