超薄透明介质膜厚度测量方法
专利权的视为放弃
摘要
本发明涉及一种超薄透明介质膜厚度测量方法，属长度计量技术领域。本测量方法采用的光路由光源、反射棱镜、显微镜和光探测器组成，反射棱镜置于被测透明介质薄膜上。光源发出的入射光进入反射镜和透明介质膜后，返回反射棱镜，经反射棱镜反射后的光线进入显微镜，随后进入光探测器。光探测器获得的各点反射光强度与该点的介质膜厚有一定函数关系，因而可根据各点反射光强度计算出该点透明介质膜的厚度。
基本信息
专利标题 ：
超薄透明介质膜厚度测量方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1071004A
申请号 ：
CN92111134.7
公开（公告）日 ：
1993-04-14
申请日 ：
1992-09-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
冼亮
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
100084北京市海淀区清华园
代理机构 ：
清华大学专利事务所
代理人 ：
罗文群
优先权 ：
CN92111134.7
主分类号 ：
G01B11/06
IPC分类号 ：
G01B11/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
1995-08-16 ：
专利权的视为放弃
1993-04-14 ：
公开
1993-03-31 ：
实质审查请求的生效
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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