低热阻抗的横向激励薄膜体声波谐振器
实质审查的生效
摘要
一种具有低热阻抗的声学谐振器装置具有基板和单晶压电板，该压电板的背面通过粘合氧化物(BOX)层附接到基板的顶面。在板的正面上形成的叉指换能器(IDT)，其具有布置在隔膜上的交错的指状物。从装置的表面区域的至少一部分上去除压电板和BOX层，以在导体图案和基板之间提供较低的热阻。
基本信息
专利标题 ：
低热阻抗的横向激励薄膜体声波谐振器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114553170A
申请号 ：
CN202111308412.8
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2021-11-05
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
格雷格·戴尔克里斯·奥布莱恩尼尔·O·芬齐詹姆斯·R·科斯塔
申请人 ：
谐振公司
申请人地址 ：
美国德克萨斯州
代理机构 ：
上海申新律师事务所
代理人 ：
董科
优先权 ：
CN202111308412.8
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02 H03H9/56 H03H9/58
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/02
申请日 : 20211105
申请日 : 20211105
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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