废气的处理方法和装置
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摘要
本发明公开了一种对半导体生产线，集成电路器件生产线等所产生的废气进行处理的废气处理装置。被风扇16吸排的废气首先通过进行预过滤的层状活性炭除味过滤器20，将废气中的气相和/或汽相带有异味的物质除去。接着废气通过袋式除尘器14将粉尘等除去。进入袋式除尘器14内的废气已经通过预过滤器12将附着性较强的气相和/或汽相的带有异味的物质除去，因而不会很快造成对袋式除尘器14的堵塞。
基本信息
专利标题 ：
废气的处理方法和装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101107053A
申请号 ：
CN200580042519.5
公开（公告）日 ：
2008-01-16
申请日 ：
2005-12-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
高柳圭佑铃木智之池野荣宣
申请人 ：
新东工业株式会社
申请人地址 ：
日本爱知县
代理机构 ：
上海智信专利代理有限公司
代理人 ：
薛琦
优先权 ：
CN200580042519.5
主分类号 ：
B01D46/02
IPC分类号 ：
B01D46/02 B01D53/38 B01D53/81 H05K3/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D46/00
专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法
B01D46/02
由挠性材料制成的空心滤器的粒子分离器，例如聚尘器
法律状态
2010-06-02 ：
授权
2008-03-05 ：
实质审查的生效
2008-01-16 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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