离子注入机的加速－减速管的聚焦效应的弱化
授权
摘要
一种在减速模式过程中离子注入机的加速－减速管(240)的强聚焦效应的弱化装置及方法。该装置包括一管透镜(250)，围绕离子束(104)，并与加速－减速管(240)的减速透镜(260)相邻。该管透镜使离子束(104)在管透镜(250)的入口处散焦，从而减少由管产生的离子散焦问题。本发明也包括一加速－减速管以及与管透镜成为一体的离子注入机。在管透镜(250)中后续还可添加另外的减速抑制电极(270)，将电子限制在管透镜内。
基本信息
专利标题 ：
离子注入机的加速－减速管的聚焦效应的弱化
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101088138A
申请号 ：
CN200580044839.4
公开（公告）日 ：
2007-12-12
申请日 ：
2005-11-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张昇吾约瑟·C·欧尔森当诺·恩德森丹尼尔·梅吉立克帝
申请人 ：
瓦里安半导体设备公司
申请人地址 ：
美国麻萨诸塞州
代理机构 ：
北京中原华和知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
寿宁
优先权 ：
CN200580044839.4
主分类号 ：
H01J37/317
IPC分类号 ：
H01J37/317 H01J37/12
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/30
物体局部处理用的电子束管或离子束管
H01J37/317
用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入
法律状态
2011-10-26 ：
授权
2008-02-06 ：
实质审查的生效
2007-12-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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