阴极蒸发器
专利权的终止
摘要
本发明涉及一种阴极蒸发器，其包括蒸发室(2)、阴极元件(3)、阳极(4)、以及用于对阴极元件(3)上电弧进行引导的磁性引导系统。磁性引导系统包括中央磁极(14)和带有端面(12a)的外周磁极(12)。所述端面(12a)与阴极元件(3)之间的距离(A)至少为20mm。
基本信息
专利标题 ：
阴极蒸发器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101370957A
申请号 ：
CN200580052539.0
公开（公告）日 ：
2009-02-18
申请日 ：
2005-12-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
J·戈伊科特克萨·拉里纳加
申请人 ：
特克尼克基金会
申请人地址 ：
西班牙吉普斯夸
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
蒋旭荣
优先权 ：
CN200580052539.0
主分类号 ：
C23C14/32
IPC分类号 ：
C23C14/32 H01J37/32
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/32
爆炸法；蒸发及随后的气化物电离法
法律状态
2013-02-13 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101395328393
IPC(主分类) : C23C 14/32
专利号 : ZL2005800525390
申请日 : 20051216
授权公告日 : 20110126
终止日期 : 20111216
号牌文件序号 : 101395328393
IPC(主分类) : C23C 14/32
专利号 : ZL2005800525390
申请日 : 20051216
授权公告日 : 20110126
终止日期 : 20111216
2011-01-26 ：
授权
2009-04-15 ：
实质审查的生效
2009-02-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN101370957A.PDF
PDF下载
