本发明涉及用于制造有机聚硅氧烷的方法，其是通过于反应单元内在期望的有机聚硅氧烷存在的情况下使卤硅烷与醇和水反应而实施的，该反应单元包括蒸馏塔、任选的回流冷凝器以及已含有期望的有机聚硅氧烷的容器，其中在回流作用下加热该容器的内容物直至沸腾，将待转化的卤硅烷于塔下端的上方送至塔内，利用该蒸馏塔去除所形成的卤化氢，并从该容器连续地适量去除有机聚硅氧烷，其特征在于，持续添加卤硅烷、醇及水至该反应单元内的量，使该反应单元内所含的水总多于可被所添加的卤硅烷的硅－卤素单元消耗的水。