本发明涉及一种基板升降设备及其顶柱机构，所述顶柱机构包括一本体、一顶柱、一传动元件以及一弹性元件。顶柱设于该本体之上，该顶柱可以于一第一位置以及一第二位置之间移动。传动元件推动该顶柱，使该顶柱从该第一位置沿一第一方向移动至该第二位置。该顶柱设置弹性元件，该弹性元件对该顶柱提供一弹性力，其中，该弹性力的作用方向是朝向一第二方向，该第二方向相反于该第一方向。