玻璃基板升降装置
授权
摘要
本实用新型公开一种玻璃基板升降装置，包括减速电机、两个传动轴和两个机械手臂，两个传动轴设置在减速电机的两侧，每个传动轴的一端通过第一联轴器与减速电机连接，传动轴的另一端通过第二联轴器与机械手臂连接，减速电机与机械手臂之间设有带座轴承，传动轴穿过带座轴承。本实用新型的玻璃基板升降装置利用带座轴承对传动轴起到支撑和限位作用，能降低传动轴在转动过程中的抖动，减小联轴器受到的冲击力，避免联轴器发生变形或损坏，提高了玻璃基板升降装置的可靠性，有利于玻璃基板升降装置的平稳运行。
基本信息
专利标题 ：
玻璃基板升降装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122473163.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-13
授权号 ：
CN216213324U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
吴铭
申请人 ：
乐金显示光电科技（中国）有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市高新技术产业开发区科学城开泰大道59号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
郭利娜
优先权 ：
CN202122473163.X
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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