玻璃基板清洗装置
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摘要
本公开涉及一种玻璃基板清洗装置，该玻璃基板清洗装置包括壳体(1)和回流组件(2)，壳体(1)内部形成有用于清洗玻璃基板的清洗腔(3)，壳体(1)上形成有开口(4)，回流组件(2)设置在开口(4)处，回流组件(2)包括沿上下方向相对设置的上回流件(21)和下回流件(22)，上回流件(21)和下回流件(22)之间具有间隙，开口(4)和间隙能够供玻璃基板穿过以进入清洗腔(3)，上回流件(21)具有从开口(4)的顶边缘倾斜延伸的上回流面(211)，下回流件(22)具有从开口(4)的底边缘倾斜延伸的下回流面(221)，上回流面(211)和下回流面(221)构造为能够使清洗液回流到清洗腔(3)内。
基本信息
专利标题 ：
玻璃基板清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122872233.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-22
授权号 ：
CN216441317U
授权日 ：
2022-05-06
发明人 ：
王峰王耀君李庆文赵东
申请人 ：
河北光兴半导体技术有限公司;北京远大信达科技有限公司
申请人地址 ：
河北省石家庄市高新区黄河大道9号
代理机构 ：
北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李微
优先权 ：
CN202122872233.9
主分类号 ：
B08B11/00
IPC分类号 ：
B08B11/00 B08B3/04 B08B5/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B11/00
专门适用于清洁柔韧的或精致的物品的方法或装置
法律状态
2022-05-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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