玻璃基板的清洗装置

授权

摘要

本实用新型提供一种能够使清洗液的浓度恒定的玻璃基板的清洗装置。玻璃基板(G)的清洗装置(1)具备：贮存清洗液(C)的清洗液箱(2)；输送清洗液箱(2)内的清洗液(C)的清洗液泵(3)；清洗部(4)，其使用由清洗液泵(3)输送的清洗液(C)来清洗玻璃基板(G)；传感器(5)，其测量清洗液(C)的浓度；原液箱(6)，其贮存清洗液(C)的原液(U)；以及原液泵(7)，其输送原液箱(6)内的清洗液(C)的原液(U)，在清洗装置(1)中，以传感器(5)测量的清洗液(C)的浓度达到规定浓度的方式，向清洗液箱(2)输送清洗液(C)的原液(U)。

基本信息

专利标题：

玻璃基板的清洗装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922118596.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-29

授权号：

CN211488968U

授权日：

2020-09-15

发明人：

鉴继薰中塚弘树山本好晴

申请人：

日本电气硝子株式会社

申请人地址：

日本国滋贺县

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

佟胜男

优先权：

CN201922118596.6

主分类号：

B08B11/04

IPC分类号：

B08B11/04 B08B3/02 B08B3/08 B08B13/00