载物台装置和龙门型载物台装置及载物台装置的控制方法

专利权的终止

摘要

本发明以可修正梁相对工作台的平行度为课题，提供载物台装置和龙门型载物台装置及载物台装置的控制方法。载物台装置(10)为使作为工件的基板(11)沿水平方向移动的被称为“龙门型”的载物台装置，具有基座(12)、沿Y方向可移动地设置在基座上的工作台(14)、固定在基座上的门型龙门部(16)、控制工作台沿Y方向移动并进行龙门部在Z方向上的高度调整控制的控制装置(17)。龙门部具有横架在工作台上方的梁(18)和支持梁两端部的一对Z轴驱动机构(20)。并且，梁上设置有测量与工作台的距离的一对Z方向传感器(21A、21B)。通过驱动Z轴驱动机构使Z方向传感器测量到的值相等来使梁处于与工作台的上面平行的状态。

基本信息

专利标题：

载物台装置和龙门型载物台装置及载物台装置的控制方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1824458A

申请号：

CN200610009405.7

公开（公告）日：

2006-08-30

申请日：

2006-02-21

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

小林雄二中森靖仁

申请人：

住友重机械工业株式会社

申请人地址：

日本东京都

代理机构：

永新专利商标代理有限公司

代理人：

黄剑锋

优先权：

CN200610009405.7

主分类号：

B23Q1/25

IPC分类号：

B23Q1/25 B23Q1/72 B23Q5/22 B23Q17/00