载物台位置控制装置和载物台位置控制方法
实质审查的生效
摘要
抑制机架机构中的载物台在横摆方向的运动。用于控制机架机构(100)中的载物台的位置的载物台位置控制装置(1)具备：Y轴重心推力指令输出部(30)，其输出用于指示Y1轴驱动系统与Y2轴驱动系统的重心推力的第一Y轴重心推力指令；Y轴差推力指令输出部(20)，其输出用于指示Y1轴驱动系统与Y2轴驱动系统的差推力的第一Y轴差推力指令；前馈部(11)，其将用于指示X轴位置的X轴位置指令(x)以及用于指示Y1轴位置与Y2轴位置的重心位置的Y轴重心位置指令(Y1)前馈到第一Y轴差推力指令(F2)，来输出第二Y轴差推力指令(F2')；以及推力变换部(50)，其使用第一Y轴重心推力指令和第二Y轴差推力指令来控制载物台的位置。
基本信息
专利标题 ：
载物台位置控制装置和载物台位置控制方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114270286A
申请号 ：
CN202080058134.2
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2020-06-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
境隼太
申请人 ：
松下知识产权经营株式会社
申请人地址 ：
日本大阪府
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN202080058134.2
主分类号 ：
G05D3/00
IPC分类号 ：
G05D3/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制；调节
G05D
非电变量的控制或调节系统
G05D3/00
位置或方向的控制
法律状态
2022-04-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G05D 3/00
申请日 : 20200623
申请日 : 20200623
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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