大气压射频放电高速冷等离子体阵列发生器
授权
摘要
本申请涉及大气压冷等离子体发生器领域，其特征在于，含有：筒型外壳、用多个单个同轴型冷等离子体发生器构成发生器阵列，该发生器阵列内置于所述的筒型外壳中；在该筒型外壳上开有射频电源接入口和冷等离子体工作气进入口；各单个冷等离子体发生器的内电极并联后接射频电源，而外电极并联后接地，并且开有侧向或轴向工作气入口；在该筒型外壳上还可开有冷却介质进出口。本申请可方便地产生大面积、均匀稳定的冷等离子体射流，该射流的面积也可按选择单个冷等离子体发生器的数量不同进行调整。
基本信息
专利标题 ：
大气压射频放电高速冷等离子体阵列发生器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1812687A
申请号 ：
CN200610011364.5
公开（公告）日 ：
2006-08-02
申请日 ：
2006-02-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李和平包成玉王华博孙文廷
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
100084北京市100084－82信箱
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN200610011364.5
主分类号 ：
H05H1/40
IPC分类号 ：
H05H1/40 H05H1/50 H01J37/32 H01L21/00
相关图片
法律状态
2011-05-11 ：
授权
2006-09-27 ：
实质审查的生效
2006-08-02 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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