一种自动对准装置

发明专利申请公布后的驳回

摘要

本发明提供一种自动对准装置，具有一个照明光源，该照明光源通过照明光纤将照明光源的出射光导入到标记照明单元，该标记照明单元将光线均匀地投射到所要照明的用于对准的标记上；一个标记成像单元将标记成像并投射到标记摄影装置靶面上，该标记摄影装置接收标记的像，经图像处理单元处理后将计算得到的位置误差传送给运动控制装置。本发明实现了掩模和曝光对象之间的高精度位置对准。

基本信息

专利标题：

一种自动对准装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1794096A

申请号：

CN200610023154.8

公开（公告）日：

2006-06-28

申请日：

2006-01-06

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

徐兵闫岩王鹏程

申请人：

上海微电子装备有限公司

申请人地址：

201203上海市张江高科技园区张东路1525号

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

王洁

优先权：

CN200610023154.8

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20 G03F7/00 H01L21/027