制备氧化锌/p型硅异质结紫外电致发光器件的方法
专利权的终止
摘要
本发明公开了制备氧化锌/p型硅异质结紫外电致发光器件的方法，步骤如下：1)将电阻率为0.005－0.02欧姆.厘米的P型重掺杂硅片清洗后放入直流反应磁控溅射装置的反应室中，反应室真空度抽至1～5×10－3Pa，以Zn为靶材，以O2和Ar作为溅射气氛，在5～20Pa压强下，衬底温度为300℃～500℃，进行溅射生长，得到ZnO薄膜；2)在ZnO薄膜上溅射半透明电极，在P型硅衬底背面溅射欧姆接触电极。本发明方法简单，不需要采用复杂的分子束外延(MBE)和金属有机物化学气相沉积(MOCVD)等手段。且所用的设备与现行成熟的硅器件平面工艺兼容。
基本信息
专利标题 ：
制备氧化锌/p型硅异质结紫外电致发光器件的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1825634A
申请号 ：
CN200610049178.0
公开（公告）日 ：
2006-08-30
申请日 ：
2006-01-19
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
马向阳杨德仁陈培良阙端麟
申请人 ：
浙江大学
申请人地址 ：
310027浙江省杭州市西湖区浙大路38号
代理机构 ：
杭州求是专利事务所有限公司
代理人 ：
韩介梅
优先权 ：
CN200610049178.0
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 C23C14/35
法律状态
2019-01-08 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 31/18
申请日 : 20060119
授权公告日 : 20090826
终止日期 : 20180119
申请日 : 20060119
授权公告日 : 20090826
终止日期 : 20180119
2011-09-14 ：
专利实施许可合同备案的生效、变更及注销
专利实施许可合同备案的生效号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101183693473
IPC(主分类) : H01L 31/18
专利申请号 : 2006100491780
专利号 : ZL2006100491780
合同备案号 : 2011320001033
让与人 : 浙江大学
受让人 : 镇江大成新能源有限公司
发明名称 : 制备氧化锌/p型硅异质结紫外电致发光器件的方法
申请日 : 20060119
公开日 : 20060830
授权公告日 : 20090826
许可种类 : 独占许可
备案日期 : 20110719
号牌文件序号 : 101183693473
IPC(主分类) : H01L 31/18
专利申请号 : 2006100491780
专利号 : ZL2006100491780
合同备案号 : 2011320001033
让与人 : 浙江大学
受让人 : 镇江大成新能源有限公司
发明名称 : 制备氧化锌/p型硅异质结紫外电致发光器件的方法
申请日 : 20060119
公开日 : 20060830
授权公告日 : 20090826
许可种类 : 独占许可
备案日期 : 20110719
2009-08-26 ：
授权
2006-10-25 ：
实质审查的生效
2006-08-30 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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