具有中间模具的图案复制用装置
授权
摘要
本发明涉及一种用于执行把图案从模板(1)转印到基片目标表面上的两步骤过程的压印装置。该装置通过在第一压印单元(200)内由模板进行压印，例如由柔性聚合物模具(10)生成中间盘状件。然后，操纵给料装置(410)以输送中间模具至第二压印单元(300)，在那里该中间模具用于在基片的目标表面上进行压印。
基本信息
专利标题 ：
具有中间模具的图案复制用装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1979336A
申请号 ：
CN200610051397.2
公开（公告）日 ：
2007-06-13
申请日 ：
2006-01-04
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
B·海达里
申请人 ：
奥博杜卡特股份公司
申请人地址 ：
瑞典马尔默
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
蒋旭荣
优先权 ：
CN200610051397.2
主分类号 ：
G03F7/00
IPC分类号 ：
G03F7/00 B41N1/00 H01L21/027
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2012-08-29 ：
授权
2008-11-26 ：
实质审查的生效
2007-06-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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