利用中间印模的图案复制
授权
摘要
本发明涉及一种用于将图案从模板(1)转移到基板的目标表面上的两步工艺，通过在初始步骤中从模板制造中间柔性聚合物印模(5)，并随后在第二步骤中使用该聚合物印模在位于目标表面上的对辐射敏感可模压层中进行压印。在第二步骤中，将聚合物印模和基板相对彼此压制的工艺步骤，通过聚合物印模对可模压层的紫外线曝光，以及对辐射后的可模压层的后烘干，都在受控的恒定温度下进行，以便消除由于热膨胀影响所引起的对形成在可模压层中的图案的损坏。
基本信息
专利标题 ：
利用中间印模的图案复制
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101198903A
申请号 ：
CN200580050071.1
公开（公告）日 ：
2008-06-11
申请日 ：
2005-11-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
巴巴克·海达里阿内特·勒斯特兰德埃里克·博尔姆斯约埃里克·特安德马克·贝克
申请人 ：
奥贝达克特公司
申请人地址 ：
瑞典马尔默
代理机构 ：
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
章社杲
优先权 ：
CN200580050071.1
主分类号 ：
G03F7/00
IPC分类号 ：
G03F7/00 B29C39/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2011-09-07 ：
授权
2008-08-06 ：
实质审查的生效
2008-06-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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