静电吸附电极和处理装置
专利权的终止
摘要
本发明提供防止在静电吸附电极的气体流路中的异常放电，并且即便万一在气体流路中发生异常放电时也可以容易地进行修理的静电吸附电极。静电吸盘(5)具有由相互可以分离的第1基材(30)和第2基材(31)构成的组合构造。分别在第1基材(30)上的介电性材料膜(8)内埋入电极(6a)，在第2基材(31)上的介电性材料膜(8)内埋入电极(6b)。在组合第1基材(30)和第2基材(31)的状态中，在两者之间以包围第1基材(30)周围的方式形成间隙，该间隙作为供给传热气体的气体供给缝隙(9c)起作用。
基本信息
专利标题 ：
静电吸附电极和处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1870242A
申请号 ：
CN200610057301.3
公开（公告）日 ：
2006-11-29
申请日 ：
2006-03-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
林圣南雅人
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本国东京都
代理机构 ：
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 ：
龙淳
优先权 ：
CN200610057301.3
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2017-05-03 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101716970564
IPC(主分类) : H01L 21/683
专利号 : ZL2006100573013
申请日 : 20060308
授权公告日 : 20090408
终止日期 : 20160308
号牌文件序号 : 101716970564
IPC(主分类) : H01L 21/683
专利号 : ZL2006100573013
申请日 : 20060308
授权公告日 : 20090408
终止日期 : 20160308
2009-04-08 ：
授权
2007-01-24 ：
实质审查的生效
2006-11-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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