氟酸的回收方法
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摘要
本发明提供从玻璃基板的蚀刻工序等排出的氟酸废液中回收氟酸的方法，是不产生水垢、可以以高收率回收杂质更少的精制氟酸的氟酸的回收方法。氟酸的回收方法通过蒸馏法从含有金属成分的氟酸废液中回收氟酸，具备：将氟酸废液供给到蒸发釜(1)、加热，将粗氟酸作为蒸气回收，同时分离浓缩废液的粗氟酸蒸发工序；利用第一蒸馏塔(21)蒸馏粗氟酸，分离为浓缩氟酸和回收水的第一蒸馏工序；和利用第二蒸馏塔(22)进一步蒸馏浓缩氟酸，分离为被精制的精制氟酸和废液的第二蒸馏工序。其中，在粗氟酸蒸发工序的氟酸废液中添加抑制金属成分析出的足量的硫酸。
基本信息
专利标题 ：
氟酸的回收方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101028918A
申请号 ：
CN200610057775.8
公开（公告）日 ：
2007-09-05
申请日 ：
2006-02-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
宫田坚洋亀山薰川瀬泰人
申请人 ：
三菱化学工程株式会社;日本瑞环株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 ：
邸万杰
优先权 ：
CN200610057775.8
主分类号 ：
C01B7/19
IPC分类号 ：
C01B7/19 C02F1/04
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B7/00
卤素；氢卤酸
C01B7/19
氟；氟化氢
法律状态
2012-03-28 ：
授权
2009-04-01 ：
实质审查的生效
2007-09-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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