氟酸的回收方法
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摘要
本发明提供一种通过蒸馏法，从玻璃基板的蚀刻工序等排出的氟酸废液回收精制氟酸的分批处理方式的氟酸的回收方法，其不产生水垢，可以以高收率回收杂质更少的精制氟酸，可简化装置。在氟酸的回收方法中，通过利用蒸发釜(1)加热氟酸废液，将粗氟酸作为蒸气取出，同时回收利用蒸馏塔(2)蒸馏的馏出液的操作，在馏出液的氟化氢浓度在回收水上限浓度以下时，将该馏出液作为回收水回收；在馏出液的氟化氢浓度高于回收水上限浓度且小于氟酸回收浓度时，将该馏出液作为中间液回收；在馏出液的氟化氢浓度大于氟酸回收浓度时，将该馏出液作为精制氟酸回收。其中，在蒸馏塔(2)的氟酸废液中添加抑制金属成分析出的足量的硫酸。
基本信息
专利标题 ：
氟酸的回收方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101028919A
申请号 ：
CN200610057779.6
公开（公告）日 ：
2007-09-05
申请日 ：
2006-02-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
宫田坚洋亀山薰川瀬泰人
申请人 ：
三菱化学工程株式会社;日本瑞环株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 ：
邸万杰
优先权 ：
CN200610057779.6
主分类号 ：
C01B7/19
IPC分类号 ：
C01B7/19
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B7/00
卤素；氢卤酸
C01B7/19
氟；氟化氢
法律状态
2011-07-20 ：
授权
2009-04-01 ：
实质审查的生效
2007-09-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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