湿度传感器的检查装置以及调节湿度传感器的传感器特性的方法

专利权的终止

摘要

一种用于检查湿度传感器(100)的检查装置，所述湿度传感器(100)具有集成在一个芯片中的传感器部分(160)和电路部分(170)。所述检查装置包括：容纳晶片(W)的检查室(222)，晶片(W)中多个湿度传感器(100)设置成晶片状态的传感器芯片；接触电路部分(170)的电极焊盘的探针(226a)；电连接到探针(226a)以检查湿度传感器(100)的测试器(210)；以及控制检查室(222)的温度和湿度的湿度—湿度控制部分(230)。

基本信息

专利标题：

湿度传感器的检查装置以及调节湿度传感器的传感器特性的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1831525A

申请号：

CN200610059805.9

公开（公告）日：

2006-09-13

申请日：

2006-03-07

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

板仓敏和矶贝俊树

申请人：

株式会社电装;株式会社日本自动车部品综合研究所

申请人地址：

日本爱知县

代理机构：

永新专利商标代理有限公司

代理人：

蔡洪贵

优先权：

CN200610059805.9

主分类号：

G01N27/22

IPC分类号：

G01N27/22 G01N27/00 G01M19/00 G01R31/28 H01L21/66