快速湿度传感器和用于校准快速湿度传感器的方法
公开
摘要
根据本发明的示例方面，提供了一种形成在包括传感器框架(21)的衬底(12)上的传感器结构(19)，传感器框架(21)包括用于传感器的电触点(1‑6)，传感器框架(21)内的有源传感器(22)至少包括电容式湿度传感器(9)。根据本发明，有源传感器(22)仅通过支撑有源传感器(22)的薄隔热层(14)连接到传感器框架(23)，该隔热层(14)包括来自传感器框架(21)的电触点。
基本信息
专利标题 ：
快速湿度传感器和用于校准快速湿度传感器的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114624296A
申请号 ：
CN202111490054.7
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2021-12-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
J·勒帕宁M·杰洛宁
申请人 ：
芬兰维萨拉有限责任公司
申请人地址 ：
芬兰赫尔辛基
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
亓云
优先权 ：
CN202111490054.7
主分类号 ：
G01N27/22
IPC分类号 ：
G01N27/22 G01K13/00 G01K7/16
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/22
通过测试电容量
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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