湿度传感器的动态补偿方法
实质审查的生效
摘要
公开了一种湿度传感器的动态补偿方法，通过引入空气中水分子平均浓度u(k)和传感器的湿度探头内水分子平均浓度y(k)作为辨识对象，进行恒温下的湿度传感器湿度阶跃响应测试，以确定湿度传感器的系统传递函数G(Z)及系统状态空间模型∑0；通过对湿度传感器中水分子扩散方程分析将温度变量对探头湿度的影响等效成恒温下测量间隔对湿度的影响，并利用系统状态空间模型∑0与测量温度Tk进行量化，确定随温度变化的系统传递函数GK(Z)，得到补偿后湿度测量值RHc(k)。该方法中的补偿流程只需要在恒温条件下对传感器进行湿度阶跃响应测试，降低了测试难度，同时能在温度发生变化时保证该补偿模型的准确。
基本信息
专利标题 ：
湿度传感器的动态补偿方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114324501A
申请号 ：
CN202111622564.5
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李文昌杨文轩
申请人 ：
中国科学院半导体研究所
申请人地址 ：
北京市海淀区清华东路甲35号
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
樊晓
优先权 ：
CN202111622564.5
主分类号 ：
G01N27/22
IPC分类号 ：
G01N27/22
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/22
通过测试电容量
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 27/22
申请日 : 20211228
申请日 : 20211228
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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