本实用新型公开了一种半导体材料线切割专用刃料水循环利用装置，它包括压滤机，所述压滤机的进水口通过管道与渣浆泵的出水口相连通。本实用新型优点在于通过渣浆泵将进入沉降池内的刃料溢流生产用水泵至压滤机内，经过滤后返回到循环池内与补充的净水充分混合后进入生产系统，水利用率达75％－80％，使得吨刃料产品的水用量降至15－18吨，大大节约了水资源，且排放水符合国家标准。而过滤出的细粉滤饼又可作为原料用于其他领域如航空航天、军工、汽车制造等行业的碳化硅陶瓷制品等高附加值产品，回收率达99.5％，变废为宝，具有较高的经济价值和广泛的社会效益。