本实用新型提供了一种能精密和灵敏地传动的压电陶瓷微位移驱动器及其面形干涉仪。压电陶瓷微位移驱动器由压电陶瓷、微纳米传动机构和压电陶瓷微位移控制系统组成，所述微纳米传动机构采用带有柔性铰链的活动杆件，所述活动杆件的横截面尺寸大于柔性铰链的横截面尺寸。面形干涉仪包括干涉仪、标准镜、图像采集系统、计算机、压电陶瓷微位移驱动器和压电陶瓷微位移驱动器控制系统。由于压电陶瓷微位移驱动器中微纳米传动机构采用带有柔性铰链的活动杆件，由于活动杆件的横截面尺寸远大于柔性铰链的横截面尺寸，因此柔性铰链对外力非常敏感，而采用上述压电陶瓷微位移驱动器组成的面形干涉仪，精密度和灵敏度也很高。