用于干涉仪测量镀膜面及高折射材料表面精度的工作台

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种用于干涉仪测量镀膜面及高折射材料表面精度的工作台，它有效解决了一般干涉仪在测量镀膜面及高折射材料表面面形时遇到的干涉条纹不清晰甚至观察不到干涉条纹的问题。其技术方案为：该工作台包括一工作台台座和一固定在所述台座上用于减弱光强的过滤网。所述工作台通过所述接口以插入的方式可拆卸地安装于所述干涉仪上。本实用新型应用于使用干涉仪测量镀膜面及高折射材料表面面形精度的领域。

基本信息

专利标题：

用于干涉仪测量镀膜面及高折射材料表面精度的工作台

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200620041101.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2006-04-17

授权号：

CN2924523Y

授权日：

2007-07-18

发明人：

胡情强

申请人：

上海星庆光学仪器有限公司

申请人地址：

200231上海市龙吴路1100号

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

陈亮

优先权：

CN200620041101.4

主分类号：

G01N21/45

IPC分类号：

G01N21/45