本实用新型属薄膜材料制备技术领域，具体为一种用于薄膜材料合成的直流放电原子束源。它由阴极、阳极、阴极基座、阳极法兰、阴极法兰、圆柱形石英玻璃筒和电磁铁组成。阴极法兰和阳极法兰固定于石英玻璃筒上下两端，阴极安插于阴极基座下端，阴极基座贯穿阴极法兰中轴，上下可调。阳极为中空，尖端为原子束引出孔，阳极设于阳极法兰的下沉洞孔中。阴极与阳极间距为0.5－1.5厘米可调。本原子束源放电稳定性好，可产生多种气体的原子束；原子束强度大，弧光放电可达10^18－21，辉光放电可达10^15－18。而且使用寿命长。可用于薄膜制备，材料表面的氮化、氧化处理，也可以用于原子分子物理研究。