一种反应腔内壁清扫装置
专利权的终止
摘要
本实用新型涉及一种反应腔内壁清扫装置。现有的反应腔在清扫内壁时只有拆开反应腔才能进行内壁清扫，致使清扫过程复杂、用时过长、浪费人力且污染环境。本实用新型的反应腔内壁清扫装置，包括一设置在该反应腔内的清扫单元、一驱动该清扫单元清扫反应腔内壁的驱动单元以及一设置在该反应腔底端且与反应腔连通的收集单元。采用本实用新型的反应腔内壁清扫装置能简化清扫过程且节约人力及清扫时间，并使清扫过程清洁无污染。
基本信息
专利标题 ：
一种反应腔内壁清扫装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200620049606.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2006-12-27
授权号 ：
CN200984581Y
授权日 ：
2007-12-05
发明人 ：
赵春波
申请人 ：
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请人地址 ：
201203上海市张江路18号
代理机构 ：
上海智信专利代理有限公司
代理人 ：
王洁
优先权 ：
CN200620049606.5
主分类号 ：
B08B9/20
IPC分类号 ：
B08B9/20 B08B9/36 H01L21/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B9/00
用专门的方法或设备清洁空心物品
B08B9/08
清洗容器，如槽的清洗
B08B9/20
使用机器，容器如瓶子、罐被引入机器内或机器上
法律状态
2017-01-25 ：
专利权的终止
专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101700189408
IPC(主分类) : B08B 9/20
专利号 : ZL2006200496065
申请日 : 20061227
授权公告日 : 20071205
终止日期 : 无
号牌文件序号 : 101700189408
IPC(主分类) : B08B 9/20
专利号 : ZL2006200496065
申请日 : 20061227
授权公告日 : 20071205
终止日期 : 无
2013-04-10 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101562059431
IPC(主分类) : B08B 9/20
专利号 : ZL2006200496065
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130318
号牌文件序号 : 101562059431
IPC(主分类) : B08B 9/20
专利号 : ZL2006200496065
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130318
2007-12-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
CN200984581Y.PDF
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