大行程高精度二维工作台

专利权的终止

摘要

大行程高精度二维工作台，其特征是采用复合式磁浮－滑动导轨，设置二维移动工作台的顶部导向面与测量光栅的测量面相重合的结构形式，设置驱动区和工作区二级隔离。本实用新型能同时适应高低速运动、适应高加速度、减小阿贝误差的影响以及能有效隔离拨爪驱动器产生的正压力和振动对工作台的影响。

基本信息

专利标题：

大行程高精度二维工作台

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200620072502.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2006-04-12

授权号：

CN2904210Y

授权日：

2007-05-23

发明人：

余晓芬奚琳黄斌

申请人：

合肥工业大学

申请人地址：

230009安徽省合肥市屯溪路193号

代理机构：

安徽省合肥新安专利代理有限责任公司

代理人：

何梅生

优先权：

CN200620072502.6

主分类号：

G12B5/00

IPC分类号：

G12B5/00 G12B9/10 B25H1/00

IPC结构图谱

G部——物理

G12

仪器的结构零部件，或未列入其他类目的其他设备的类似零部件

G12B

仪器的零部件，或未列入其他类目的其他设备的类似零部件

G12B5/00

仪器或其他设备或其部件的位置或状态的调整，例如，水平调整；倾斜或加速影响的补偿，例如，用于光学仪器的

法律状态

2013-06-05 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101467525246
IPC(主分类) : G12B 5/00
专利号 : ZL2006200725026
申请日 : 20060412
授权公告日 : 20070523
终止日期 : 20120412

2007-05-23 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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