晶片移动控制宏指令
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摘要
一种用于创建一组晶片转移指令的计算机实现方法，用于在具有多个晶片保持位置的等离子粒团工具中在起始晶片保持位置和目的晶片保持位置之间移动晶片。该方法包括接收第一用户提供位置指示和第二用户提供位置指示，该方法以图形方式识别分别在等离子粒团工具的屏幕图形表示上的起始晶片保持位置和目的晶片保持位置。该方法进一步包括确定与第一用户提供位置指示和第二用户提供位置指示之间的路径相关的数据。该方法进一步包括响应于与路径相关的数据形成该组晶片转移指令。该组晶片转移指令被配置用于为沿着与路径相关的晶片保持位置转移晶片。
基本信息
专利标题 ：
晶片移动控制宏指令
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101573708A
申请号 ：
CN200680004405.6
公开（公告）日 ：
2009-11-04
申请日 ：
2006-02-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
克里斯多弗·弗赖尔·索格林森
申请人 ：
朗姆研究公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
余 刚
优先权 ：
CN200680004405.6
主分类号 ：
G06F19/00
IPC分类号 ：
G06F19/00 G06F7/00
相关图片
法律状态
2011-07-13 ：
授权
2009-12-30 ：
实质审查的生效
2009-11-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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