含有多功能活化剂的新的抛光浆和无磨料溶液
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明涉及用于底材化学机械抛光/平坦化(“CMP”)的含水浆/溶液组合物。特别地，本发明的新的浆/溶液含有多功能活化剂，该多功能活化剂为所述含水抛光浆/溶液提供增加的铜去除速率，同时抑制了各向同性化学浸蚀和铜线的凹陷。
基本信息
专利标题 ：
含有多功能活化剂的新的抛光浆和无磨料溶液
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101611116A
申请号 ：
CN200680009066.0
公开（公告）日 ：
2009-12-23
申请日 ：
2006-01-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
I·贝洛夫T·D·莫泽
申请人 ：
普莱克斯S.T.技术有限公司
申请人地址 ：
美国康涅狄格州
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
刘 冬
优先权 ：
CN200680009066.0
主分类号 ：
C09K13/00
IPC分类号 ：
C09K13/00 C23F1/00 H01L21/461 C03C15/00 B44C1/22 H01L21/302
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C09
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09K
不包含在其他类目中的各种应用材料；不包含在其他类目中的材料的各种应用
C09K13/00
蚀刻，表面光亮或浸蚀组合物
法律状态
2012-04-04 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101315322045
IPC(主分类) : C09K 13/00
专利申请号 : 2006800090660
公开日 : 20091223
号牌文件序号 : 101315322045
IPC(主分类) : C09K 13/00
专利申请号 : 2006800090660
公开日 : 20091223
2010-02-17 ：
实质审查的生效
2009-12-23 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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