大型平板玻璃改进的镀膜生产装置
专利权的终止
摘要

本实用新型涉及玻璃镀膜设备,特别是关于一种大型平板玻璃改进的镀膜生产装置。其特征在于磁控溅射靶设于镀膜室的刚性靶座,镀膜室内设有2根以上分段的加气管;抽气室内设有上下两层隔板。按本方案实施的大型平板玻璃改进的镀膜生产装置,由于将磁控溅射靶装置于刚性靶座、以及在镀膜室内设置了分段的加气管,由此而保证了磁场强度及反应气流分布的均匀一致性,在抽气室内设置的双层隔板有效的防止了“窜气”和反应气流的不稳定性。本实用新型结构合理、性能稳定可靠,具有膜层牢固、均匀,和生产效率高的特点。

基本信息
专利标题 :
大型平板玻璃改进的镀膜生产装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720000410.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-06-22
授权号 :
CN201056539Y
授权日 :
2008-05-07
发明人 :
王百新王百江
申请人 :
王百新;王百江
申请人地址 :
101500北京市密云县西门外大街30号
代理机构 :
中国商标专利事务所有限公司
代理人 :
万学堂
优先权 :
CN200720000410.1
主分类号 :
C03C17/09
IPC分类号 :
C03C17/09  C03C17/245  C03C17/00  C23C14/56  C23C14/35  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C03
玻璃;矿棉或渣棉
C03C
玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分;玻璃的表面处理;由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理;玻璃与玻璃或与其他材料的接合
C03C17/00
纤维或丝之外玻璃,例如微晶玻璃的涂覆法表面处理
C03C17/06
用金属
C03C17/09
采用从气相沉积
法律状态
2012-08-29 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101317517426
IPC(主分类) : C03C 17/09
专利号 : ZL2007200004101
申请日 : 20070622
授权公告日 : 20080507
终止日期 : 20110622
2008-05-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN201056539Y.PDF
PDF下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332