镀膜生产设备
授权
摘要
本实用新型提供了一种镀膜生产设备,镀膜生产设备包括:进载腔,进载腔上设置有第一真空泵;加热组件,加热组件的进料端与进载箱相连接,加热组件包括至少两个真空加热装置;出载腔,与加热组件的出料端相连接,出载腔上设置有第二真空泵;传送组件,与进载腔,加热组件和出载腔相连接;其中,传送组件被配置为适于将进载腔中的至少两个工件分别传送至至少两个真空加热装置中加热,以及将完成加热的至少两个工件由真空加热装置传送至出载腔。使镀膜生产设备可以在单次抽真空‑回填大气循环中同时加热多个工件,以大幅度提升加工效率。进而实现优化镀膜生产设备结构,提升镀膜生产设备生产效率,降低产品生产成本的技术效果。
基本信息
专利标题 :
镀膜生产设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020335028.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-17
授权号 :
CN211999911U
授权日 :
2020-11-24
发明人 :
梁建军朱海剑
申请人 :
常州捷佳创精密机械有限公司
申请人地址 :
江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号
代理机构 :
北京友联知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
汪海屏
优先权 :
CN202020335028.1
主分类号 :
C23C16/50
IPC分类号 :
C23C16/50 C23C16/54 C23C16/46 C23C16/458
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/50
借助放电的
法律状态
2020-11-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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