镀膜设备
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型提供了一镀膜设备,其中所述镀膜设备包括一反应腔体、一气体供给部、一真空抽气装置以及一脉冲电源,其中所述反应腔体具有一反应腔,其中所述气体供给部用于向所述反应腔供给气体,其中所述真空抽气装置被可连通于所述反应腔地连接于所述反应腔体,其中所述脉冲电源用于向所述反应腔体提供脉冲电场,其中多个该待镀膜工件被保持于所述反应腔,当所述脉冲电源被连通,所述反应腔体内的气体在脉冲电场的作用下电离产生等离子体并且等离子体朝向该镀膜工件的表面沉积。

基本信息
专利标题 :
镀膜设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922152448.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-04
授权号 :
CN211814641U
授权日 :
2020-10-30
发明人 :
宗坚单伟兰竹瑶
申请人 :
江苏菲沃泰纳米科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市惠山经济开发区玉祁配套区东环路182号
代理机构 :
宁波理文知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
罗京
优先权 :
CN201922152448.6
主分类号 :
C23C16/515
IPC分类号 :
C23C16/515  C23C16/455  C23C16/458  C23C16/02  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/50
借助放电的
C23C16/515
采用脉冲放电
法律状态
2021-03-05 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : C23C 16/515
变更事项 : 专利权人
变更前 : 江苏菲沃泰纳米科技有限公司
变更后 : 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 214183 江苏省无锡市惠山经济开发区玉祁配套区东环路182号
变更后 : 214000 江苏省无锡市惠山经济开发区玉祁配套区东环路182号
2020-10-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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