本实用新型涉及将气体加热供应的装置，具体为一种热风加热装置，解决现有技术中存在的加热气体温度忽高忽低，不能保持恒定等问题。采用该装置受热气体可长时间稳定供应，而且温度保持在指定的温度范围内，供应的气体的温度、流量、压力均可调整。该装置设有密闭腔体、导气管线、加热器、排出管路，加热器设置于密闭腔体内，导气管线缠绕于加热器上，导气管线的气体进口伸至密闭腔体外，导气管线的出口设在密闭腔体内，排出管路的气体排出口伸至密闭腔体内。本实用新型适用于半导体设备上的单元，可以在多种不同工艺上使用，如热板单元上、清洗工艺的吹干。