本实用新型属于环境保护技术领域，是低温等离子体工业废气处理装置，包括低温等离子体放电板、电源、外壳中框、上接口、下接口，上接口与下接口分别位于外壳中框的下上端，下接口接有进气管，上接口接有排气管，低温等离子体放电板至少设有一块，且位于外壳中框内，每块低温等离子体放电板由金属电极与介质板组成，金属电极至少设有一对，成对的对称的均匀分布在介质板的两面，并与电源相连。本实用新型可以在常压下处理废气，可以在废气流速达15米/秒的状态下工作，可以高速大流量处理废气。本实用新型处理废气范围广，不但适用于H₂S、CS₂等废气的处理，还可用于烃类、SO₂、芳香烃类、多环芳香烃、氟里昂、哈龙等废气的处理。