本实用新型公开了一种工业废气处理用低温等离子体设备，包括壳体，所述壳体顶部的左侧套设有固定架，所述固定架内腔的左右两侧分别固定连接有活性炭过滤网与光触媒过滤网，所述壳体内腔顶部的中轴处与内腔底部的中轴处均固定连接有紫外线杀菌灯。本实用新型通过活性炭过滤网、光触媒过滤网、紫外线杀菌灯、低温等离子发生器、空气质量检测仪、蜂鸣器、固定块、活动块、活动杆、连接杆和气缸的配合，解决了现有的废气处理装置都是将过滤网与装置固定连接，造成过滤网不方便进行装卸，而过滤网在使用一段时间后需要更换或者清理，因此会影响过滤效果，并且排出的空气不具备检测机构，无法得知排出的气体是否达标的问题。