石英波片厚度的测量装置
专利权的终止
摘要
一种石英波片厚度的测量装置,该装置由装置主体、接口卡和计算机构成,所述的装置主体包括激光束、该激光束经光束引导镜分成透射光束和反射光束,在透射光束方向是监测器,在反射光束方向依次是起偏器、待测波片置放台、检偏器和检测器,所述的监测器、待测波片置放台、检偏器和检测器通过屏蔽电缆经接口卡与计算机相连接。利用本实用新型装置可对石英波片厚度进行自动测量,不需要预先确定石英波片的光轴方向,只需要一种波长的激光光源,就能以较高的测量精度和速度测出所处实际环境温度下石英波片的厚度,并可给出该波片在任一波长和任何环境温度下的相位延迟量。
基本信息
专利标题 :
石英波片厚度的测量装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720070787.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-06-08
授权号 :
CN201043885Y
授权日 :
2008-04-02
发明人 :
欧阳斌林礼煌张秉钧
申请人 :
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址 :
201800上海市800-211邮政信箱
代理机构 :
上海新天专利代理有限公司
代理人 :
张泽纯
优先权 :
CN200720070787.4
主分类号 :
G01B11/06
IPC分类号 :
G01B11/06 G01N21/41
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
2010-09-22 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101005927569
IPC(主分类) : G01B 11/06
专利号 : ZL2007200707874
申请日 : 20070608
授权公告日 : 20080402
号牌文件序号 : 101005927569
IPC(主分类) : G01B 11/06
专利号 : ZL2007200707874
申请日 : 20070608
授权公告日 : 20080402
2008-04-02 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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