测量双折射单轴晶体波片厚度的方法和装置
专利权的终止
摘要

一种测量双折射单轴晶体波片厚度的方法和装置,该方法包括以下步骤:①将待测波片置于透射轴方向平行放置或正交放置的起偏器和检偏振的光路之中,构成一个“三明治”式结构;②转动待测波片的光轴方向与起偏器的透射轴夹角为π/4或 3π/4;③开启白光光源,出射的连续波长的平行光束依次通过限束光阑、起偏器、待测波片、检偏器和分光镜后,经光谱仪接收,并由计算机进行数据处理,得到一条光谱分辨归一化透射率曲线;④取所述的光谱分辨归一化透射率曲线上两个峰值点处对应的波长数值λ得待测波片的厚度D。本发明的测量方法属于非接触测量,使用方便,经试用证明其测量精度高,厚度测量误差可优于0.1μm。

基本信息
专利标题 :
测量双折射单轴晶体波片厚度的方法和装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1743796A
申请号 :
CN200510030094.8
公开(公告)日 :
2006-03-08
申请日 :
2005-09-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
林礼煌冯伟伟欧阳斌
申请人 :
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址 :
201800上海市800-211邮政信箱
代理机构 :
上海新天专利代理有限公司
代理人 :
张泽纯
优先权 :
CN200510030094.8
主分类号 :
G01B11/06
IPC分类号 :
G01B11/06  G01B21/08  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
2012-11-28 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101355721235
IPC(主分类) : G01B 11/06
专利号 : ZL2005100300948
申请日 : 20050928
授权公告日 : 20071003
终止日期 : 20110928
2007-10-03 :
授权
2006-05-03 :
实质审查的生效
2006-03-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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