装片胶厚度检测装置及方法
公开
摘要

本公开涉及半导体技术领域,提供一种装片胶厚度检测装置及方法,装片胶用于将芯片固定到框架上,装片胶厚度检测装置包括激光检测单元、图像识别单元和数据处理单元;图像识别单元分别与激光检测单元和数据处理单元电连接;激光检测单元用于获取芯片和框架的整体轮廓图像;图像识别单元用于从整体轮廓图像中分别识别出芯片表面和框架表面,芯片表面上具有预设的第一待测基准点;数据处理单元用于计算第一待测基准点与框架表面之间的垂直距离,并根据垂直距离和芯片的厚度,计算得到装片胶的测量厚度。本公开可形成完善的测量体系,对装片胶厚度进行自动化检测,可操作性高,还可与芯片封装产品线对接,满足芯片封装产品中装片胶厚度的全检需求。

基本信息
专利标题 :
装片胶厚度检测装置及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114608458A
申请号 :
CN202210201945.4
公开(公告)日 :
2022-06-10
申请日 :
2022-03-02
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
朱正宇邢卫兵姜峰王睿
申请人 :
通富微电子股份有限公司
申请人地址 :
江苏省南通市崇川路288号
代理机构 :
北京中知法苑知识产权代理有限公司
代理人 :
李明
优先权 :
CN202210201945.4
主分类号 :
G01B11/06
IPC分类号 :
G01B11/06  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
2022-06-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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