干燥装置

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种干燥装置，包括：密封腔体、密封腔体侧壁上的密封门、密封腔体内用于放置晶圆的晶圆架、用于向密封腔体内通入气体的进气装置，还包括至少一个连通密封腔体用于排出污染物的排放口，所述排放口与进气装置相对，且位于晶圆架和密封门之间的区域。本实用新型干燥装置由于解决了现有技术晶圆干燥过程中二次污染的问题，因而提高了晶圆干燥的质量。

基本信息

专利标题：

干燥装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720073811.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-08-17

授权号：

CN201100825Y

授权日：

2008-08-13

发明人：

张文锋

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江路18号

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

逯长明

优先权：

CN200720073811.X

主分类号：

F26B9/06

IPC分类号：

F26B9/06 F26B3/06 F26B21/00

IPC结构图谱

F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破

F26

干燥

F26B

从固体材料或制品中消除液体的干燥

F26B

从固体材料或制品中消除液体的干燥

F26B9/00

静态下或只是局部摇动干燥固体材料或制品的机器或设备；家用晾晒柜

F26B9/06

在固定的筒或室内

法律状态

2017-09-26 ：

专利权的终止

专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101749612297
IPC(主分类) : F26B 9/06
专利号 : ZL200720073811X
申请日 : 20070817
授权公告日 : 20080813
终止日期 : 无

2012-12-05 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101480552053
IPC(主分类) : F26B 9/06
专利号 : ZL200720073811X
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20121105

2008-08-13 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

文件下载

暂无PDF文件可下载