氙气供给装置

专利权的终止

摘要

本实用新型提供一种氙气供给装置，其中，该装置包括氙气瓶、计量器、反应腔以及粗泵；氙气瓶、计量器、反应腔依次串联，粗泵连接到氙气瓶和计量器之间的管路上。在粗泵和氙气瓶之间的管路上还设置一个控制该管路之间的通断的阀门。与现有技术相比，本实用新型装置的粗泵可以直接抽取氙气瓶和计量器之间管路的气体，将有效缩短更换氙气瓶的时间，有效提高了生产效率。

基本信息

专利标题：

氙气供给装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720073814.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-08-20

授权号：

CN201112325Y

授权日：

2008-09-10

发明人：

黄家明

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市张江路18号

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所

代理人：

屈蘅

优先权：

CN200720073814.3

主分类号：

H01J37/317

IPC分类号：

H01J37/317 H01L21/265

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01J

放电管或放电灯

H01J37/00

有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的

H01J37/30

物体局部处理用的电子束管或离子束管

H01J37/317

用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入

法律状态

2017-09-26 ：

专利权的终止

专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101749621510
IPC(主分类) : H01J 37/317
专利号 : ZL2007200738143
申请日 : 20070820
授权公告日 : 20080910
终止日期 : 无

2013-03-20 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101539393413
IPC(主分类) : H01J 37/317
专利号 : ZL2007200738143
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130220

2008-09-10 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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