臭氧供给装置以及臭氧供给方法
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摘要
臭氧供给装置包括臭氧产生器(2)、吸附塔(3)、待机部(7)、减压装置(8)、臭氧供给部(9)、低温制冷剂循环器(5)和控制部(10)，所述控制部(10)使生成的臭氧化气体吸附于冷却后的吸附剂(4)，将吸附于吸附剂(4)的臭氧化气体解吸并浓缩，控制部(10)使自吸附塔(3)的吸附剂(4)解吸出来的臭氧化气体在待机部(7)待机的待机状态时的吸附塔(3)内的压力低于吸附时的吸附塔(3)内的压力。
基本信息
专利标题 ：
臭氧供给装置以及臭氧供给方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108473306A
申请号 ：
CN201680076340.X
公开（公告）日 ：
2018-08-31
申请日 ：
2016-11-14
授权号 ：
CN108473306B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
中川雄介松浦洋航和田升中村保博
申请人 ：
三菱电机株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
严鹏
优先权 ：
CN201680076340.X
主分类号 ：
C01B13/10
IPC分类号 ：
C01B13/10 B01D53/04 B01D53/047
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B13/00
氧；臭氧；一般氧化物或氢氧化物
C01B13/10
臭氧的制备
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2018-09-25 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C01B 13/10
申请日 : 20161114
申请日 : 20161114
2018-08-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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