一种薄膜卡盘，由一个盘状回转体构成，盘状回转体的一端的端面内设置有轴孔，盘状回转体的另一端连接有弹性卡爪盘，弹性卡爪盘与盘状回转体的中心轴线重合，弹性卡爪盘沿轴心方向设置有连接端面和卡爪端面，连接端面的周边通过螺栓与盘状回转体的端面固定连接，卡爪端面设置有定位止口，定位止口呈圆柱状或者圆锥状台，连接端面与盘状回转体之间在其中心轴线周围设置有空腔，连接端面的轴心处设置有螺孔，螺孔内设置有撑紧螺钉，撑紧螺钉的前端延伸到空腔内，弹性卡爪盘上沿其外圆周设置有凹槽，卡爪端面内沿半径方向至少设置有3条豁口。通过撑紧螺钉使弹性卡爪盘变形，实现对工件的紧固，使用方便快捷，零件不易变形，提高了零件的加工质量。